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國產臺式掃描電鏡，SEM掃描電子顯微鏡的圖像分析
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2020-06-29
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國產臺式掃描電鏡，SEM掃描電子顯微鏡的圖像分析：
掃描電鏡照片是灰度圖像，分為二次電子像和背散射電子像，主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。
一般二次電子像主要反映樣品表面微觀形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情況需要對比分析。
背散射電子像主要反映樣品表面元素分布情況，越亮的區域，原子序數越高。
看表面形貌，電子成像，亮的區域高，暗的區域低。非常薄的薄膜，背散射電子會造成假像。導電性差時，電子積聚也會造成假像。
國產臺式掃描電鏡，SEM掃描電子顯微鏡的用途：
掃描電子顯微鏡利用細聚焦電子束在樣品表面逐點掃描，與樣品相互作用產行各種物理信號，這些信號經檢測器接收、放大并轉換成調制信號，最后在熒光屏上顯示反映樣品表面 各種特征的圖像。掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強、放大倍數范圍大、連續可調、分辨 率高、樣品室空間大且樣品制備簡單等特點，是進行樣品表面研究的有效分析工具。
目前, 掃描電子顯微鏡已被廣泛應用于生命科學（主要用來觀察生物體，微生物，組織器官等）、物理學、化學、電子（在電子學研究中，掃描電鏡主要可以用來觀測及分析半導體、數據存儲材料、太陽能電池、LED、元器件、PCB板及MEMS器件等的形態或缺陷）、地球科學、材料學（在材料研究、地質、半導體和微電子、汽車、航空航天等相關行業的研究和生產中，掃描電鏡發揮著巨大的作用）以及工業生產等領域的微觀研究, 僅在地球科學方面就包括了結晶學、礦物學、礦床學、沉積學、地球化學、寶石學、微體古生物、天文地質、油氣地質、工程地質和構造地質等。
