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中科大在InGaAs(砷化銦鎵HMDS真空烘箱)單光子探測器芯技術有重要突破
來源:電子工程技術領域期刊Journal of Lightwave Technology。 | 作者:雋思半導體設備部 | 發布時間: 2022-05-27 | 839 次瀏覽 | 分享到:

近日,中國科學技術大學光學與光學工程系教授王亮課題組設計并制備的InGaAs(砷化銦鎵HMDS真空烘箱))單光子探測器芯片取得了重要進展。


前述團隊通過設計金屬—分布式布拉格反射器優化單光子探測器芯片的光學性能,完成低本征暗計數的單光子探測器芯片的全自主化設計與制備,實現了單光子探測器芯片的全國產化,為解決我國前沿科技問題邁進了重要一步。


基于InGaAs(砷化銦鎵HMDS真空烘箱)材料的半導體單光子雪崩二極管(SPAD)具有單光子級別的高靈敏度、短波紅外波段的人眼安全、大氣窗口波段低損耗、穿透霧霾、低功耗、小尺寸、易于集成等優秀特點。


前述優點使SPAD在量子信息技術、主被動的焦平面探測器、城市測繪、激光雷達等多個領域均發揮著重要作用,具有民用、商用以及軍用價值。


中科大團隊通過調整MOCVD的溫度、V/III比、摻雜濃度等生長參數,實現低缺陷密度和高摻雜精度的外延結構生長。其中,MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。


(a) SPAD的器件結構示意圖,(b) 12μm窗口的超低暗計數SPAD芯片及測試結果


團隊在SPAD器件結構的基礎上,提出并設計了新型的寬譜(全光通信波段)全反射鏡,即金屬—分布式布拉格反射鏡,用以提升SPAD芯片的光電吸收效率。其制備的12μm(微米)窗口的低暗計數SPAD,在溫度233K(開氏度)及10%的探測效率下具有127Hz(赫茲)的超低本征暗計數,比國外同類產品低一個量級,擁有更優的器件性能,此芯片可滿足量子通信等應用的單光子探測使用需求,并可替代進口器件。


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